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PRODCOM Liste 2010

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28.99   Herstellung von Maschinen für sonstige bestimmte Wirtschaftszweige a. n. g.    
    28.99.20   Maschinen und Apparate von der ausschließlich oder hauptsächlich zur Herstellung von Halbleiterbarren (Boules) oder -scheiben (Wafers), Halbleiterbauelementen, elektronischen integrierten Schaltungen oder Flachbildschirmen verwendeten Art    
       28.99.20.20   Maschinen, Apparate und Geräte ausschliesslich oder hauptsächlich zur Herstellung von Halbleiterbarren (boules) und Halbleiterscheiben (wafers)
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       28.99.20.40   Maschinen, Apparate und Geräte zum Herstellen von Halbleiterbauelementen oder elektronischen integrierten Schaltungen (ausgenommen Ultraschallwerkzeugmaschinen)
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       28.99.20.60   Maschinen, Apparate und Geräte ausschliesslich oder hauptsächlich zur Herstellung von Flachbildschirmen
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